半導体デバイス化技術／光ネットワークと光デバイス技術
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【開催日】2003年2月14日
- ◆ Keynote Address：半導体デバイス化技術／光デバイス技術とトライボロジー
土肥俊郎氏（埼玉大学） - ◆ 半導体デバイス化技術とプラナリゼーション技術の最近の動向
磯部 晶氏（東京精密） - ◆ 最近の平坦化CMP技術の動向とCMPを軽減する技術
佐藤修三氏（ソニー） - ◆ デバイスウェハの平坦化CMP技術
鈴木恵友氏（半導体先端テクノロジーズ） - ◆ 光ネットワークの進展とそれを支えるデバイス技術
河内正夫氏（NTT） - ◆ 光通信用石英系PLC技術の動向と加工技術
大森保治氏（NTTエレクトロニクス） - ◆ 光コネクタの加工技術
長瀬 亮氏（NTT）